特許

J-GLOBAL ID：200903007060913749

超精密研削用ダイヤモンドラツピングテープおよびその製造方法

発明者： 菊地 則文 ,  山下 博明 ,  渋谷 巧 ,  上遠野 稔 ,  正垣 友成
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-159126
公開番号（公開出願番号）：特開平5-069341
出願日： 1991年06月28日
公開日（公表日）： 1993年03月23日
要約：

【要約】【目的】 耐久性および量産性に優れ、かつ良好な仕上げ面が得られる超精密研削用ダイヤモンドラッピングテープおよびその製造方法を提供する。【構成】 可撓性を有するベースフィルムの表面に、最大高さRmaxが0.3μ以下となる表面あらさに設定されたシリコン膜を設け、該シリコン膜の表面に気相合成法により析出されたダイヤモンド粒子を配設して成る超精密研削用ダイヤモンドラッピングテープ。

請求項（抜粋）：

可撓性を有するベースフィルムの表面に、最大高さRmaxが0.3μm以下となる表面あらさに設定されたシリコン膜を設け、該シリコン膜の表面に気相合成法により析出されたダイヤモンド粒子を配設して成る超精密研削用ダイヤモンドラッピングテープ。

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭62-218071
  
• 特開昭62-094272