特許

J-GLOBAL ID：200903007064260634

加速度センサ

発明者： 加納 一彦 ,  藤田 真紀子 ,  竹内 幸裕
出願人/特許権者： 日本電装株式会社
代理人 (1件)： 碓氷 裕彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-017201
公開番号（公開出願番号）：特開平7-231102
出願日： 1994年02月14日
公開日（公表日）： 1995年08月29日
要約：

【要約】【目的】 閉ループ制御による加速度検出が可能な薄膜構造の半導体加速度センサを提供する。【構成】 基板101上に絶縁膜104を介して梁部105が両側に設けられた変位検出用可動電極102を設ける。この変位検出用可動電極102には変位制御用可動電極107が設けられており、これを一定の間隔を隔てて挟むように基板101上に変位制御用固定電極106が設けられている。また基板101上には変位検出用可動電極102と対面するように変位検出用固定電極103が設けられている。この半導体加速度センサに加速度が加わると変位検出用可動電極102が変位し変位検出用可動電極102と変位検出用固定電極103間の静電容量が変化する。この変化を打ち消すように変位制御用可動電極107と変位制御用固定電極106との間に静電引力を発生させる電圧をかける。加速度はその電圧を処理することにより求めることができる。

請求項（抜粋）：

基板と、前記基板上に配置されるとともに梁構造を有する可動部と、前記可動部が加速度を受けた時の変位を電気的変化により検出する変位検出手段と、前記可動部に設けられ前記可動部と共に可動する少なくとも1つの変位制御用可動電極と、前記基板における前記変位制御用可動電極近傍に設けられるとともに、前記変位制御用可動電極との間に保持電圧を印加して静電気力により前記可動部を引き付けることで前記可動部と前記基板との間を実質的に一定距離に保たせようとする変位制御用固定電極と、加速度に伴う前記変位検出手段の検出出力の変化を打ち消すように前記保持電圧を増減制御する保持電圧制御手段とを有し、前記保持電圧の変化値から加速度を検出するようにしたことを特徴とする加速度センサ。

IPC (2件)：

H01L 29/84 ,  G01P 15/13

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平1-253657
  
• 特開平4-278464
  
• 特開平4-025764
  
• 特公昭48-014877