ガラス基板のライン検査方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：下田容一郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-017556
公開番号（公開出願番号）：特開平7-225198
出願日： 1994年02月14日
公開日（公表日）： 1995年08月22日
要約：

【要約】【目的】磁気記録媒体或いは液晶表示板用のガラス基板の品質を向上し、歩留りを向上させる。【構成】基板1に磁性膜等を成膜する前に、透過型自動外観検査装置6によって基板1の外観検査を行う。即ち、レーザー光源12からのレーザー光をコリメータ13、ポリゴンミラー14、フーリエレンズ15を介して基板1に照射し、透過した光をフーリエレンズ16を介してセンサ17,18で受光し、センサ17,18の検出信号をコンパレータ等でしきい値処理した後、コンピュータに取り込んで2次元画像化、画像処理をして欠陥の有無を判別する。

請求項（抜粋）：

ガラス基板の生産ラインで欠陥を検査するライン検査方法において、前記ガラス基板に付加価値を付ける工程前に透過型自動外観検査装置によって前記ガラス基板の外観検査を行うことを特徴とするガラス基板のライン検査方法。

IPC (4件)：

G01N 21/89 , G01B 11/30 , G01N 21/88 , G06T 7/00

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭63-153454
特開昭57-012351
特開昭55-020454

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