導電性反射防止膜

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：臼村文男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-215422
公開番号（公開出願番号）：特開平6-034801
出願日： 1992年07月20日
公開日（公表日）： 1994年02月10日
要約：

【要約】【目的】基板11上にITO等の透明導電層23を、その上に低屈折率層Lと高屈折率層Hとの交互積層膜25を、スパッタリング法等のプラズマ雰囲気下の成膜法により全層酸化物で形成し、最上層(表面)を酸化物とした導電性反射防止膜環境による分光変化特性の変化がなく、季節により湿度が変化しても、反射光の色が常に一定であり、耐摩耗性、耐汚染性に優れている。【構成】基板上に全層が酸化物からなる高屈折率層と低屈折率層とが合計4層以上積層され、高屈折率層の少なくとも1層が透明導電層であり、表面層が低屈折率層である、CRT等の前面パネルに利用される導電性反射防止膜。

請求項（抜粋）：

基板上に高屈折率層と低屈折率層とが合計4層以上積層された導電性反射防止膜において、全層が酸化物から形成され、高屈折率層の少なくとも1層が透明導電層であり、かつ、表面層が低屈折率層であることを特徴とする導電性反射防止膜。

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭61-168899
特開昭63-228101

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