倒立型顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-086296
公開番号（公開出願番号）：特開2002-287036
出願日： 2001年03月23日
公開日（公表日）： 2002年10月03日
要約：

【要約】【課題】観察像のみならず撮像像にもパターン像を写し込むことができ、且つ変倍時において観察像とパターンとの変倍関係がくずれることがなく、さらに観察試料の視認性も良好な倒立型顕微鏡を提供する。【解決手段】観察試料2からの反射光を対物レンズ5より結像レンズ6を介して一次像として形成する倒立型顕微鏡であって、観察試料2の一次像を再結像して二次像を形成する変倍リレー光学系群10と、変倍リレー光学系群10により形成される二次像を観察光路にリレーするリレー光学系14を有し、一次像と二次像の間の光路に第1の撮像光路12を分岐する光路分割素子11と、リレー光学系14の射出瞳位置近傍に第2の撮像光路16を分岐する光路分割素子15を配置し、一次像にレチクルを挿入可能にした。

請求項（抜粋）：

試料に対し対物レンズを介して照明光束を照射し、前記試料からの反射光を前記対物レンズより結像レンズを介して試料の一次像として形成する倒立型顕微鏡において、前記試料の一次像を再結像させ二次像として形成する第1のリレー光学系と、前記第1のリレー光学系により形成される二次像を観察光路にリレーする第2のリレー光学系と、前記一次像と二次像の間の光路に配置され、入射光束を第1の撮像光路に分岐する第1の光路分割手段と、前記第2のリレー光学系の射出瞳位置近傍に配置され、入射光束を第2の撮像光路に分岐する第2の光路分割手段と、を具備し、前記一次像の位置に焦点板を挿入可能にしたことを特徴とする倒立型顕微鏡。

IPC (2件)：

G02B 21/18 , G02B 21/36

FI (2件)：

G02B 21/18 , G02B 21/36

Fターム (7件)：

2H052AB14 , 2H052AB24 , 2H052AC04 , 2H052AD03 , 2H052AF14 , 2H052AF21 , 2H052AF22

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開昭63-138314
特許第3032901号
特開昭62-017722

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