特許
J-GLOBAL ID：200903007077084762
タングステンの電解鏡面研磨方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
林 宏 (外1名)
, 林 宏 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-340476
公開番号（公開出願番号）：特開平10-156627
出願日： 1996年12月05日
公開日（公表日）： 1998年06月16日
要約：
【要約】【課題】 タングステンからなるワークWの表面を短時間に、且つ簡単な研磨手段で鏡面研磨可能にする。【解決手段】 電極溝4を残して研磨パッド3を貼り付けた研磨定盤1に対してタングステンからなるワークWを押し付け、そのワークを研磨定盤1に対して相対移動させながら、研磨定盤1上に電解液9を供給すると同時に、ワークと研磨定盤との間に電解電流を流して研磨を行う。電解液9中には遊離砥粒10を混入できる。この研磨方法では、ワークに対して付与される電流密度の増加に伴ってワークの表面粗さが急激に改善される、という粗さ改善特性を利用する。
請求項（抜粋）：
タングステンからなるワークの表面を鏡面研磨するための方法であって、電極溝を残して研磨パッドを貼り付けた研磨定盤に対し、上記タングステンからなるワークを押し付け、そのワークを研磨定盤に対して相対移動させながら、研磨定盤上に電解液を供給すると同時に、ワークを陽極とし、研磨定盤を陰極として電解電流を流し、研磨を行う、ことを特徴とするタングステンの電解鏡面研磨方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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