特許
J-GLOBAL ID：200903007078334827
光学多層膜フィルタの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
武 顕次郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-092494
公開番号（公開出願番号）：特開平9-277396
出願日： 1996年04月15日
公開日（公表日）： 1997年10月28日
要約：
【要約】【課題】 光学特性に優れ、取り扱いが便利な基板レスの光学多層膜フィルタを実現する。【解決手段】 溶解可能な基板1に複数の溝1aを形成した後、各溝1a内にマスク材料としてのワイヤ3を嵌め込んだ状態で多層膜2を形成し、次いで、ワイヤ3を溝1aから除去して多層膜2をキャリヤ4に接着する。しかる後、カッタ5により基板1を各溝1aに沿って切断し、溝1aの内壁にはみ出した多層膜2の部分(バリ)を切断し、次いで、基板1を溶媒に浸漬して溶解すると、キャリヤ4上に多数のフィルタチップ10が基板レスの状態で残り、この状態で製造工程が完了する。
請求項（抜粋）：
溶解可能な基板上に複数の溝を形成する工程と、前記溝内にマスク材料を充填する工程と、前記基板上に多層膜を形成する工程と、前記多層膜をキャリヤに接着する接着工程と、前記基板のみを溶解する溶解工程とを有する光学多層膜フィルタの製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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