膜厚計測センサーおよび計測回路

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：浅村皓 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-233445
公開番号（公開出願番号）：特開平7-083605
出願日： 1993年09月20日
公開日（公表日）： 1995年03月28日
要約：

【要約】【目的】鉄板上の膜厚と非金属板上の膜厚の測定を可能とする電磁式/高周波式センサー/膜厚計を提供すること。【構成】先端チップをとり囲むよう巻回される直径の大きなセンサーと電磁式測定回路の発振回路と高周波式測定回路の発振回路と両発振回路の間に接続されるコンデンサ及びセンサー端子とを有する膜厚計。【効果】両発振回路各々の安定動作が確保され、電磁式/高周波式共用の非磁性チップセンサーとの接続が保証される。

請求項（抜粋）：

金属上の被膜に押圧して該被膜の厚さを測定するために用いる膜厚計測センサーであって、先端チップと、該先端チップを取り囲むように100から500回の範囲で巻回されたコイルとを有し前記コイルの直径は7から15mmであることを特徴とする膜厚計測センサー。

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