特許
J-GLOBAL ID：200903007081895600
集光装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-068610
公開番号（公開出願番号）：特開平10-270417
出願日： 1997年03月21日
公開日（公表日）： 1998年10月09日
要約：
【要約】【課題】本発明は、チャンバ周囲の狭いスペースにも確実に設置することができる集光装置を提供する。【解決手段】筒体15の先端部に窓部151を設け、この窓部151内部に、該窓部151から取り込まれるプラズマ光の光軸を直角方向に反射させ三角プリズム16を配置し、さらに、筒体15の中空部に、三角プリズム16で偏向されたプラズマ光に対しほぼ垂直な入射端面を有するファイバーバンドル17を設けている。
請求項（抜粋）：
半導体プロセスにおけるプラズマエッチング時間終点検出装置に用いられる集光装置において、チャンバのビューポートに対応して位置される窓部を有する筒体と、この筒体の前記窓部内に設けられ該窓部から取り込まれる前記ビューポートを透過したプラズマ光の光軸を前記筒体の中空部側に反射させる偏向手段と、前記筒体の中空部に挿通されるとともに、前記偏向手段で偏向されたプラズマ光に対する入射端面を有するファイバーバンドルとを具備したことを特徴とする集光装置。
IPC (3件)：
H01L 21/3065
, C23F 4/00
, G02B 6/00
H01L 21/302 E
, C23F 4/00 F
, G02B 6/00 B
