特許

J-GLOBAL ID：200903007082832742

放射線検出装置

発明者： 望月 千織 ,  高見 栄一 ,  遠藤 忠夫 ,  竹田 慎市 ,  林 眞一 ,  冨名腰 章 ,  森下 正和 ,  多胡 晃 ,  田村 敏和
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 山下 穣平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-250513
公開番号（公開出願番号）：特開平9-090048
出願日： 1995年09月28日
公開日（公表日）： 1997年04月04日
要約：

【要約】【課題】 遮光部材の配置、膜厚、遮光波長を適性化することにより、TFTリーク電流による光検出器のS/N比の低下や、開口率低下によるS/N比の低下のない、精細なパターンを可能とする放射線検出装置を実現する。【解決手段】 蛍光体320と、光電変換素子Sと該光電変換素子で変換された電荷を転送するTFT...Tとを有する放射線検出装置において、前記TFT...Tの保護膜307上に直接、遮光部材308を設けたことを特徴とする放射線検出装置。また、前記遮光部材308は、前記蛍光体320が発する波長の光、又は、前記TFT...Tに感応する波長の光に対してのみ選択的に遮光する部材であることを特徴とする放射線検出装置。

請求項（抜粋）：

蛍光体と、光電変換素子と該光電変換素子で変換された電荷を転送するTFTとを有する放射線検出装置において、前記TFTの保護膜上に直接、遮光部材を設けたことを特徴とする放射線検出装置。

IPC (4件)：

G01T 1/20 ,  H01L 27/14 ,  H01L 27/146 ,  H01L 31/09

FI (4件)：

G01T 1/20 E ,  H01L 27/14 K ,  H01L 27/14 C ,  H01L 31/00 A