特許

J-GLOBAL ID：200903007083131322

ジャイロスコープ

発明者： 小中 義宏
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-103628
公開番号（公開出願番号）：特開2000-292174
出願日： 1999年04月12日
公開日（公表日）： 2000年10月20日
要約：

【要約】【課題】周囲温度の変化による検出感度のレベルの変動分を補償して素子感度を一定レベルに保持した安価なジャイロスコープを提供する。【解決手段】支持基板1と、該支持基板1と熱膨張係数の異なる素子基板を加工して形成したジャイロ素子とからなり、該ジャイロ素子は、支持基板1に形成されたアンカー8b〜11bに結合している駆動用梁7a〜7dにより振動可能に支持されている振動体2と、該振動体2の駆動手段と、コリオリ力の検出手段と、を備えているジャイロスコープにおいて、前記アンカー8b〜11bと駆動用梁7a〜7dとの間に、該駆動用梁7a〜7dと平行する折り返し部8a〜11aを設け、駆動用梁7a〜7dの応力の温度変化に基づいて駆動共振周波数を変化させて、温度変化による検出感度のレベルの変動分を補償して素子感度のレベルを一定に保持したジャイロスコ-プ。

請求項（抜粋）：

支持基板と、該支持基板と熱膨張係数の異なる素子基板を加工して形成したジャイロ素子とからなり、該ジャイロ素子は、前記支持基板に形成されたアンカーに結合している駆動用梁により振動可能に支持されている振動体と、該振動体を駆動する駆動手段と、前記振動体のコリオリ力に基づく変位により角速度を検出する検出手段と、を備えているジャイロスコープにおいて、前記アンカーと駆動用梁との間に、該駆動用梁と平行する折り返し部を設け、前記駆動用梁の応力の温度変化に基づいて駆動共振周波数を変化させて、該温度変化による検出感度のレベルの変動分を補償して素子感度のレベルを一定に保持したジャイロスコ-プ。

IPC (3件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 29/84

FI (3件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 29/84 Z

Fターム (18件)：

2F105AA02 ,  2F105AA08 ,  2F105BB09 ,  2F105CC04 ,  2F105CC20 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05 ,  2F105CD13 ,  4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112BA08 ,  4M112CA24 ,  4M112CA26 ,  4M112CA36 ,  4M112DA18 ,  4M112EA02 ,  4M112EA13 ,  4M112FA05