特許
J-GLOBAL ID：200903007087335593
光ビーム形状の測定装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 章夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-107163
公開番号（公開出願番号）：特開平8-278220
出願日： 1995年04月07日
公開日（公表日）： 1996年10月22日
要約：
【要約】【目的】 固体撮像素子を用いて光ビーム形状を測定する場合に、隣接する素子間でのブルーミング現象を解消して高精度の測定を行うことを可能にする。【構成】 センサ部2を固体撮像素子11とシャッタ機構12とで構成し、制御部3により駆動されるシャッタ機構12により固体撮像素子11の複数の受光素子を選択的かつ順序的に動作して受光信号を得ており、この信号に基づいて信号処理手段において光ビーム形状を認識することにより、隣接する受光素子からの信号を時間的に離間して取得することが可能となり、隣接受光素子間におけるブルーミング現象を回避し、光ビーム形状を高精度に測定することが可能となる。
請求項（抜粋）：
測定を行う光ビームを受光してその光強度に対応する信号を出力する複数の受光素子を備えるセンサ部と、前記センサ部を駆動して前記受光素子を選択的かつ順序的に動作させる駆動手段と、前記各受光素子から出力される信号を処理して光ビーム形状を認識する信号処理手段とを備えることを特徴とする光ビーム形状の測定装置。
引用特許：
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