特許
J-GLOBAL ID：200903007089402999
基板姿勢転換装置及び基板受渡し装置並びにそれを用いた基板湿式処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-155130
公開番号（公開出願番号）：特開平7-335716
出願日： 1994年06月13日
公開日（公表日）： 1995年12月22日
要約：
【要約】【目的】 基板を吸着せず、基板に損傷を与え難い姿勢転換装置を提供する。【構成】 回動軸2には、第1支持部材6が固設され、第2、第3支持部材7、8が回動自在に取り付けられている。1支持部材6と第2支持部材7とは圧縮コイルバネ9で連結され、突出部材7aと支持台3とのストッパー機構は第2支持部材7の回転を規制する。第3支持部材8は圧縮コイルバネ10でその前端部が第1支持部材6側に付勢され、第2支持部材7の後端部と突出部材4aとのストッパー機構は第3支持部材8の回転を規制する。支持ピン5に支持された水平状態の基板Wは、回動軸2の回転に伴って第1、第3支持部材6、8の支持部材6a、8aに基板Wの角部K3付近を下方と上方とから第2支持部材7の支持部材7aに基板Wの角部K4付近を下方から支持されて起立状態に姿勢転換される。
請求項（抜粋）：
基板が略水平である状態(以下「水平状態」という)と前記基板が略垂直である状態(以下「起立状態」という)との間で前記基板の姿勢を転換する基板姿勢転換装置であって、回動軸と、前記回動軸を正逆方向に回転させる回転駆動手段と、前記回動軸に固設され、前記回動軸の回転によって前記基板の回動軸側端部を下方から支持しながら、水平状態と起立状態との間で前記基板の姿勢を転換させる第1支持手段と、前記回動軸に回転自在に取り付けられ、前記基板の所定の部位を下方から支持する第2支持手段と、前記回動軸に回転自在に取り付けられ、前記基板の回動軸側端部を上方から支持する第3支持手段と、前記第1支持手段の回転に連動して、前記回動軸回りで前記第2支持手段を回転させる第1連動手段と、前記第1支持手段の回転に連動して、前記回動軸回りで前記第3支持手段を回転させる第2連動手段と、前記水平状態と前記起立状態との間の第1の傾斜状態で前記基板を支持する位置と、前記起立状態で前記基板を支持する位置との間において前記第2支持手段の前記第1支持手段に対する連動回転を規制する第1回転規制手段と、前記水平状態と前記起立状態との間の第2の傾斜状態で前記基板を支持する位置と、前記水平状態で前記基板を支持する位置との間において前記第3支持手段の前記第1支持手段に対する連動回転を規制する第2回転規制手段と、を備えたことを特徴とする基板姿勢転換装置。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, B65G 49/07
, H01L 21/027
, H01L 21/304 341
