特許
J-GLOBAL ID：200903007092462102

フォトレジストフィルム

発明者：
冨田 浩幸

冨田 浩幸 について

, 
小暮 栄吉

小暮 栄吉 について


出願人/特許権者：
昭和電工株式会社

昭和電工株式会社 について


代理人 (6件)： 青木 篤 ,  石田 敬 ,  福本 積 ,  古賀 哲次 ,  中村 和広 ,  西山 雅也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-013783
公開番号（公開出願番号）：特開2006-201546
出願日： 2005年01月21日
公開日（公表日）： 2006年08月03日
要約：
【課題】 フィルム上の欠陥を検知しやすく、減圧下におけるプリント配線板との積層における気泡混入防止に優れた新規フォトレジストフィルムの提供。【解決手段】 本発明に係るフォトレジストフィルムは、少なくとも支持体フィルム、感光性樹脂組成物および保護フィルムを構成成分として有するフォトレジストフィルムにおいて、当該感光性樹脂組成物層と接する当該保護フィルム面の表面粗さ(Ra)が0.20μm以上であり、かつ、上記構成成分が全て積層されたフィルムの保護フィルムを剥離した後のヘイズ値から上記各構成成分が積層されたままの状態でのヘイズ値を引いた値が10%以上であることを特徴とする。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
少なくとも支持体フィルム、感光性樹脂組成物層および保護フィルムを構成成分として有するフォトレジストフィルムにおいて、当該感光性樹脂組成物層と接する当該保護フィルム面の表面粗さ(Ra)が0.20μm以上であり、かつ、上記構成成分が全て積層されたフィルムの保護フィルムを剥離した後のヘイズ値から上記各構成成分が積層されたままの状態でのヘイズ値を引いた値が10%以上である前記フォトレジストフィルム。
IPC (5件)：
G03F 7/11 ,  C08F 290/06 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/027 ,  H05K 3/28
FI (5件)：
G03F7/11 501 ,  C08F290/06 ,  G03F7/004 512 ,  G03F7/027 513 ,  H05K3/28 F
Fターム (90件)：
2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC32 ,  2H025BC42 ,  2H025BC45 ,  2H025BC66 ,  2H025CA01 ,  2H025DA02 ,  2H025DA19 ,  4J127AA03 ,  4J127BA01 ,  4J127BA061 ,  4J127BB031 ,  4J127BB032 ,  4J127BB041 ,  4J127BB111 ,  4J127BB112 ,  4J127BB131 ,  4J127BB221 ,  4J127BB222 ,  4J127BB281 ,  4J127BB301 ,  4J127BC021 ,  4J127BC022 ,  4J127BC031 ,  4J127BC131 ,  4J127BC151 ,  4J127BC152 ,  4J127BD201 ,  4J127BD441 ,  4J127BD442 ,  4J127BD451 ,  4J127BD452 ,  4J127BD462 ,  4J127BD471 ,  4J127BE24Y ,  4J127BE241 ,  4J127BE242 ,  4J127BE34Y ,  4J127BE341 ,  4J127BE41Z ,  4J127BE411 ,  4J127BF14Y ,  4J127BF142 ,  4J127BF20Y ,  4J127BF201 ,  4J127BF24X ,  4J127BF241 ,  4J127BF30X ,  4J127BF301 ,  4J127BF46Y ,  4J127BF461 ,  4J127BF462 ,  4J127BF62Y ,  4J127BF621 ,  4J127BF622 ,  4J127BG04Y ,  4J127BG041 ,  4J127BG042 ,  4J127BG05X ,  4J127BG051 ,  4J127BG09Y ,  4J127BG091 ,  4J127BG092 ,  4J127BG12X ,  4J127BG121 ,  4J127BG14Y ,  4J127BG141 ,  4J127BG16Y ,  4J127BG16Z ,  4J127BG161 ,  4J127BG162 ,  4J127BG17Y ,  4J127BG17Z ,  4J127BG171 ,  4J127BG28Y ,  4J127BG281 ,  4J127BG282 ,  4J127CB371 ,  4J127CC111 ,  4J127FA17 ,  5E314BB06 ,  5E314CC15 ,  5E314DD07 ,  5E314EE03 ,  5E314GG11 ,  5E314GG15 ,  5E314GG24
引用特許：
出願人引用 (3件)
  • 特公昭53-31670号公報
  • 特公昭55-13341号公報
  • 特公平4-26461号公報

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