2次元エンコーダ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：島田明宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-112279
公開番号（公開出願番号）：特開2003-307439
出願日： 2002年04月15日
公開日（公表日）： 2003年10月31日
要約：

【要約】【課題】光検知器から出力される信号のS/Nが低下しない高精度な2次元エンコーダを提供する。【解決手段】コヒーレントな光を発する光源10からの光は、コリメータレンズ20により平行光となり平面ミラー30に反射されて所定の間隔で配列される格子状の光透過部パターンを有するメインスケール40にて透過される。この透過光の光量は、基材50の所定面に形成されて所定の間隔で平行に配列されるスリットを有するX軸用インデックススケール61およびその反対側の面に形成されてそれらのスリットと直交して異なる間隔で配列されるスリットを有するY軸用インデックススケール62とメインスケール40との相対位置により変化して、X軸用光検知器71およびY軸用光検知器72により電気信号に変換され、信号処理部80によりX軸方向およびY軸方向の変位量を示す信号として出力される。

請求項（抜粋）：

相対する2物体の所定平面上における第1の方向であるX方向および第2の方向であるY方向への相対変位量を測定する2次元エンコーダであって、所定の波長λのコヒーレントな光を発する光源と、前記2物体の一方に設けられ、前記X方向へ第1の周期pで繰り返され前記Y方向へ前記第1の周期pとは異なる第2の周期qで繰り返される周期パターンにより前記光源が発する光を透過または反射するメインスケールと、前記2物体の他方に設けられ、前記メインスケールが有する前記X方向へ繰り返される周期パターンが結像しかつ前記Y方向へ繰り返される周期パターンが結像しない第1の距離だけ前記メインスケールから離れており、前記メインスケールが透過または反射する光を前記X方向への相対変位量に応じた光量だけ透過または反射する第1のインデックススケールと、前記2物体の他方に設けられ、前記メインスケールが有する前記X方向へ繰り返される周期パターンが結像せずかつ前記Y方向へ繰り返される周期パターンが結像する第2の距離だけ前記メインスケールから離れており、前記メインスケールが透過または反射する光を前記Y方向への相対変位量に応じた光量だけ透過または反射する第2のインデックススケールと、前記第1のインデックススケールにより透過または反射された光を検知することにより第1の電気信号を出力する第1の受光素子と、前記第2のインデックススケールにより透過または反射された光を検知することにより第2の電気信号を出力する第2の受光素子と、前記第1および第2の受光素子から出力される前記第1および第2の電気信号に基づき、前記X方向および前記Y方向への相対変位量を示す信号を出力する信号処理手段とを備える、2次元エンコーダ。

Fターム (13件)：

2F103BA00 , 2F103CA02 , 2F103CA03 , 2F103DA01 , 2F103DA12 , 2F103EA15 , 2F103EA17 , 2F103EB02 , 2F103EB16 , 2F103EB33 , 2F103EC03 , 2F103EC04 , 2F103EC11

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