プラズマ発生電極及びプラズマ反応器

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：渡邉一平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-356795
公開番号（公開出願番号）：特開2005-123034
出願日： 2003年10月16日
公開日（公表日）： 2005年05月12日
要約：

【課題】安定かつ均一なプラズマを高効率に発生させることが可能なプラズマ発生電極を提供する。【解決手段】互いに対向する二以上の板状の単位電極2と、単位電極2の両端部6の長手方向の長さに対応した長さを有するとともに互いに対向する一の表面7を有し、単位電極2の両端部6の間に挟持されることによって、単位電極2を所定間隔に隔てて保持する一組以上の保持部材5とを備えたプラズマ発生電極1であって、互いに対向する単位電極2の少なくとも一方が、誘電体となるセラミック体3と、セラミック体3の内部に配設された導電膜4とを有するとともに、一組の保持部材5が、互いに対向する一の表面7上に、一の表面7の長手方向に、その長さ全体に亘って延設された凹溝8を有するプラズマ発生電極1。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

互いに対向する二以上の板状の単位電極と、前記単位電極の両端部の長手方向の長さに対応した長さを有するとともに互いに対向する一の表面を有し、前記単位電極の両端部の間に挟持されることによって、前記単位電極を所定間隔に隔てて、その相互間に空間を形成するように保持する一組以上の保持部材とを備え、前記単位電極相互間に電圧を印加することによってプラズマを発生させることが可能なプラズマ発生電極であって、互いに対向する前記単位電極の少なくとも一方が、誘電体となるセラミック体と、前記セラミック体の内部に配設された導電膜とを有するとともに、一組の前記保持部材が、互いに対向する前記一の表面上に、前記一の表面の長手方向に、その長さ全体に亘って延設された凹溝を有するプラズマ発生電極。

IPC (2件)：

H05H1/24 , B01J19/08

FI (2件)：

H05H1/24 , B01J19/08 E

Fターム (22件)：

4G042CA01 , 4G042CC04 , 4G042CC05 , 4G042CC16 , 4G042CC19 , 4G075AA03 , 4G075AA07 , 4G075AA37 , 4G075BA05 , 4G075CA47 , 4G075DA02 , 4G075DA18 , 4G075EB21 , 4G075EC21 , 4G075FA05 , 4G075FA12 , 4G075FB01 , 4G075FB02 , 4G075FB04 , 4G075FB06 , 4G075FC11 , 4G075FC15

引用特許：

出願人引用 (1件)

プラズマ排気ガス処理システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-351382 出願人：三菱自動車工業株式会社

審査官引用 (8件)

排ガス浄化処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-185899 出願人：株式会社エクォス・リサーチ, アイシン・エィ・ダブリュ株式会社
ガス浄化装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-073399 出願人：株式会社テクノ・プレックス
特開昭54-153686

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