特許

J-GLOBAL ID：200903007114593311

静圧気体軸受装置およびその製造方法

発明者： 浅原 章伸 ,  藤井 章二 ,  袴田 博之
出願人/特許権者： エヌティエヌ株式会社
代理人 (1件)： 野田 雅士 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-300382
公開番号（公開出願番号）：特開2001-124079
出願日： 1999年10月22日
公開日（公表日）： 2001年05月08日
要約：

【要約】【課題】 高速回転、高精度の回転が可能で、生産性に優れたエンコーダ一体型の静圧気体軸受装置を提供する。【解決手段】 各々静圧気体軸受からなるラジアル軸受部3とスラスト軸受部4によってスピンドル2を回転自在に支持した静圧気体軸受装置とする。スピンドル2の表面に、面粗さの相対的に異なる粗面部(10b)と平滑面部(10a)とがスピンドル中心回りの円周方向に並んだ格子10を設ける。この格子10を検出する光学式のセンサ11を設ける。格子10は例えばレーザで描画する。

請求項（抜粋）：

各々静圧気体軸受からなるラジアル軸受部とスラスト軸受部によってスピンドルを回転自在に支持した静圧気体軸受装置であって、前記スピンドルの表面に、面粗さの相対的に異なる粗面部と平滑面部とがスピンドル中心回りの円周方向に並んだ格子を設け、この格子を検出するセンサを設けた静圧気体軸受装置。

IPC (2件)：

F16C 32/06 ,  B23K 26/00

FI (2件)：

F16C 32/06 Z ,  B23K 26/00 J

Fターム (13件)：

3J102AA02 ,  3J102BA03 ,  3J102BA19 ,  3J102CA11 ,  3J102CA15 ,  3J102EA02 ,  3J102EA06 ,  3J102EA13 ,  3J102EB03 ,  3J102GA01 ,  4E068AG00 ,  4E068CA04 ,  4E068DA02