特許
J-GLOBAL ID:200903007115141589

面検査方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 樺山 亨 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-347182
公開番号(公開出願番号):特開平6-201608
出願日: 1992年12月25日
公開日(公表日): 1994年07月22日
要約:
【要約】【目的】照明光源による検査部のハレーションの影響を除去して、被検査面における異常個所を確実かつ容易に検出できる新規な面検査方法を実現する。【構成】被検査面0の検査部0Aを照明し、被照明部の像を読取装置20により読み取って信号化し、この信号を閾値処理することにより被検部0Aの異常個所A,B,Cを検出する方法において、検査部を異なる2以上の方向から順次照明して、照明を行うごとに被照明部の像を読み取り、信号化して閾値処理を行い、閾値処理された各照明ごとの画像データをアンド演算して異常個所を検出する。
請求項(抜粋):
被検査面上の検査部を照明し、被照明部の像を読取装置により読み取って信号化し、この信号を閾値処理することにより検査部における異常個所を検出する方法において、検査部を異なる2以上の方向から順次照明して、照明を行うごとに被照明部の像を読み取り、信号化して閾値処理を行い、閾値処理された各照明ごとの画像データをアンド演算して異常個所を検出することを特徴とする面検査方法。
IPC (7件):
G01N 21/88 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/84 ,  G06F 15/62 400 ,  G06F 15/64 ,  G06F 15/64 400 ,  H04N 7/18

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