特許
J-GLOBAL ID：200903007115280767
ダイカッターの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石川 泰男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-151863
公開番号（公開出願番号）：特開平5-339756
出願日： 1992年06月11日
公開日（公表日）： 1993年12月21日
要約：
【要約】【目的】 円筒状のダイカッターを短時間の内に作成する。【構成】 シリンダとパターン原版をそれぞれ準備しステップS〜S4,S1a〜3a、シリンダにパターンを焼付けし、現像しステップS5〜S6、1回目のエッチングを行うステップS7。次いで、前記エッチングの際に残留したレジストを除去しステップS8、仕上げエッチングを行いステップS9、刃先が形成されたダイカッターを完成する。
請求項（抜粋）：
シリンダの外周面にフォトレジスト膜を形成する第1工程と、フォトレジスト膜が形成されたシリンダにパターンを焼付ける第2工程と、パターンが焼付けられたシリンダを現像する第3工程と、現像後のシリンダに対しフォトレジスト膜を残して主エッチングを行う第4工程と、前記シリンダに残されたフォトレジスト膜を除去する第5工程と、フォトレジスト膜除去後のシリンダに仕上エッチングを行う第6工程と、を備えたことを特徴とするダイカッターの製造方法。
IPC (3件)：
C23F 1/00
, B26F 1/00
, B26F 1/44
