特許

J-GLOBAL ID：200903007117999068

回転塗布装置

発明者： 長家 正之
出願人/特許権者： 凸版印刷株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-000061
公開番号（公開出願番号）：特開平8-187458
出願日： 1995年01月04日
公開日（公表日）： 1996年07月23日
要約：

【要約】【目的】ガラス板または金属板等の基板上に、均一の膜厚にて塗布材料を塗布する手段として用いる回転塗布装置の工夫を目的とする。【構成】ガラス板または金属板等の基板上に塗布材料を塗布する手段として用いられる回転塗布装置において、基板保持台および回転カップが各々独立した回転手段をもち、該カップ回転手段が回転加速率、回転数および回転時間のうちの少なくとも一つの回転条件を該基板保持台回転手段にたいし相違する条件に設定できることを特徴とする回転塗布装置。

請求項（抜粋）：

ガラス板または金属板等の基板を基板保持台上に載置固定し回転させる基板回転手段と、塗布材料をノズルに供給する塗布材料供給手段と、ノズルを上下させ回転手段から退避、接近させるノズルアームと、該ノズルにより塗布材料を基板上に滴下する滴下手段と、基板を含めた基板保持台を覆う蓋付きの回転カップを開閉させるカップ開閉手段と、該回転カップを基板回転方向に該基板回転手段と独立して回転させるカップ回転手段とを具備することを特徴とする回転塗布装置。