特許
J-GLOBAL ID：200903007119503108
硬質カーボン膜のパターニング方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-072772
公開番号（公開出願番号）：特開平6-264270
出願日： 1993年03月09日
公開日（公表日）： 1994年09月20日
要約：
【要約】【構成】 基板11に硬質カーボン膜15を形成し、さらにマスク膜17を形成し、露光現像処理を行いレジスト19をパターニングする工程と、レジストをエッチングマスクにしてマスク膜をエッチングする工程と、マスク膜をエッチングマスクとし酸素、または酸素を主体とするガスをエッチングガスとするドライエッチングにより硬質カーボン膜をエッチングする工程と、マスク膜を除去する工程とを有する。【効果】 硬質カーボン膜の微細パターンを得ることができる。これにより硬質カーボン膜を噴射加工やケミカルエッチングなどのマスク材として利用することや、基板上に部分的に形成することが可能となる。
請求項（抜粋）：
基板に硬質カーボン膜を形成し、さらにマスク膜を形成し、露光現像処理を行いレジストをパターニングする工程と、レジストをエッチングマスクにしてマスク膜をエッチングする工程と、マスク膜をエッチングマスクとして酸素、または酸素を主体とするガスをエッチングガスとするドライエッチングにより硬質カーボン膜をエッチングする工程と、マスク膜を除去する工程とを有することを特徴とする硬質カーボン膜のパターニング方法。
IPC (3件)：
C23F 4/00
, C23C 16/26
, H01L 21/302
