特許

J-GLOBAL ID：200903007119696216

研磨装置

発明者： 後藤 勝文
出願人/特許権者： 住友金属工業株式会社
代理人 (1件)： 森 道雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-108887
公開番号（公開出願番号）：特開平9-295263
出願日： 1996年04月30日
公開日（公表日）： 1997年11月18日
要約：

【要約】【課題】研磨パッドの目詰まりの進行を抑え、長期間にわたってウエハの研磨速度を安定させることができる研磨装置を提供する。【解決手段】ウエハ載置部に保持されたウエハに、研磨定盤に被着された研磨パッドを押し当て、ウエハと研磨パッドの間に研磨スラリーを供給し、ウエハ載置部と試料台と研磨定盤のいずれか一方、または両方を回転させてウエハを研磨する研磨装置であって、ウエハ載置部のウエハ載置面の外周部に設けられるリテーナ13の溝21が、ウエハ載置部の回転方向と逆向きに並ぶ点、例えばV、W、X、Y、Zに対して、リテーナの中心からの距離RV、RW、RX、RY、RZが順次増加する形状である研磨装置。

請求項（抜粋）：

ウエハ載置部が配置された試料台と、研磨パッドが被着された研磨定盤と、ウエハ載置部をその中心軸のまわりに回転させる機構と、試料台をその中心軸のまわりに回転させる機構および/または研磨定盤をその中心軸のまわりに回転させる機構を備え、ウエハ載置部に保持されたウエハに、研磨定盤に被着された研磨パッドを押し当て、ウエハと研磨パッドの間に研磨スラリーを供給し、ウエハ載置部と試料台および/または研磨定盤とを回転させてウエハを研磨する研磨装置であって、ウエハ載置部のウエハ載置面の外周部にリテーナを備え、前記リテーナの研磨パッドと対向する面に、溝の各部とリテーナ中心間の距離がウエハ載置部の回転方向と逆向きの方向に向かうにしたがい大きくなる形状の溝が複数設けられていることを特徴とする研磨装置。

IPC (2件)：

B24B 37/04 ,  H01L 21/304 321

FI (2件)：

B24B 37/04 E ,  H01L 21/304 321 E