特許
J-GLOBAL ID：200903007121873559
微動機構及び走査型プローブ顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高崎 芳紘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-336214
公開番号（公開出願番号）：特開平7-198359
出願日： 1993年12月28日
公開日（公表日）： 1995年08月01日
要約：
【要約】【目的】 微小変位の検出系を備えた微動機構に関し、高い精度でX、Y、Z軸方向の微小変位座標を特定できる装置の提供を目的とする。【構成】 外壁に固設された固定端と外力によって微小移動する自由端とを有する可撓系と、前記自由端に外球面ミラーを設けて前記外壁に固定した集束ビーム光源から放射された集束ビーム光を前記外球面ミラーで反射後2分割受光面型受光素子に入射せしめ光源変換して出力する3対の検出系とから成る。前記2分割受光面の各領域で検出される起電力を差動増幅器に入力してその出力を座標値に変換することにより、X、Y、Z軸方向の微動を高感度検出することができる。この微動機構に探針又は試料台を固設すれば、走査型プローブ顕微鏡に利用できる。
請求項（抜粋）：
外壁に固設された固定端及び外力の作用によって微動する移動端を有する可撓系と、該可撓系の外の所定位置に所定間隔をおいて固設された3対の集束ビーム光源及び2分割受光面型受光素子と、前記移動端の所定位置に固設され且つ前記集束ビーム光源から発する各集束ビーム光を反射して前記2分割受光面型受光素子にそれぞれ入射させる機能を有する3ケの球面または円柱面ミラーと、を備え、前記移動端の微動に伴うX、Y、Z軸方向の各変位をそれぞれ3ケの前記2分割受光面型受光素子の各受光面領域における出力差の変化として検出する微動機構。
IPC (4件)：
G01B 11/30 102
, G01B 7/34
, G05D 3/00
, H01J 37/28
