特許
J-GLOBAL ID：200903007129055774
ガス置換洗浄方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小林 和憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-077875
公開番号（公開出願番号）：特開平5-283001
出願日： 1992年03月31日
公開日（公表日）： 1993年10月29日
要約：
【要約】【目的】 被洗浄部材内の吸着層に吸着せしめられた吸蔵不純ガスを急速かつ確実に洗浄して排出する。【構成】 被洗浄部材1内の吸着層4に吸着せしめられた吸蔵不純ガスを洗浄パージガス14で排出するために、洗浄回路9、10に組み込んだ給気電磁弁V1と排気(循環)電磁弁V2とを交互に開閉させ、洗浄回路9に供給した洗浄パージガス14を被洗浄部材1内に供給して加熱と冷却を繰り返し、被洗浄部材1内における洗浄パージガス14の圧力を上下変動させ、この圧力変動により被洗浄部材1内の吸着層4に吸着された吸蔵不純ガスを放出させ、放出せしめた吸蔵不純ガスを洗浄パージガスとともに分子流に至らない真空度で排出する。【効果】 洗浄パージガス圧の上下変動と加熱、冷却の併用により吸蔵不純ガスを放出させ、吸着層の洗浄パージガスの吸着性を高めることができるので、吸着層に吸着された吸蔵不純ガスの置換作用が促進され、吸着層の深層部における吸蔵不純ガスを除去し、管球類の品質、寿命、特性を大幅に改善できる。
請求項（抜粋）：
被洗浄部材の吸着層内の吸蔵不純ガスを洗浄パージガスによつて放出させるにあたり、洗浄回路に被洗浄部材をセツトする工程と、洗浄回路に供給した洗浄パージガスの加熱と冷却を繰り返しながら洗浄パージガスの圧力を上下変動させる工程と、この圧力変動により吸着層内の吸蔵不純ガスを放出させる工程と、放出せしめた吸蔵不純ガスを洗浄パージガスとともに分子流に至らない真空度で洗浄回路から排出する工程とを反復することを特徴とするガス置換洗浄方法。
IPC (3件)：
H01J 9/38
, B08B 5/02
, H01K 3/22
