特許

J-GLOBAL ID：200903007132560625

位置検出装置

発明者： 白石 直正
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-003858
公開番号（公開出願番号）：特開平9-189520
出願日： 1996年01月12日
公開日（公表日）： 1997年07月22日
要約：

【要約】【課題】 凹凸変化量(段差)の極めて小さい位置検出マークに対しても確実に位置検出を行う。【解決手段】 照明系瞳面(位置検出マークに対するフーリエ変換面)に、光軸に関して対称に複数の透光部32A〜32J,33A〜33Iが形成された照明光束制限部材6を配置し、結像系瞳面にそれら透光部と共役な領域及びその周辺を含む領域が遮光部34A〜34J,35A〜35Iとされた結像光束制限部材16を配置する。例えば1つの透光部32Eからの照明光の位置検出マークによる回折光の内で、0次回折光を対応する遮光部34Eで遮光して、他の回折光36A〜36C,37A〜37Dを透過させて結像光束として利用することにより、回折光のみを有効に利用してその位置検出マークの像を形成する。

請求項（抜粋）：

処理対象の基板上に形成された位置検出マークを照明する照明光学系と、前記位置検出マークからの照明光より前記位置検出マークの像を形成する結像光学系と、前記位置検出マークの像を撮像する撮像素子と、を備え、該撮像素子から出力される画像信号に基づいて前記位置検出マークの位置を検出する位置検出装置において、前記照明光学系中の、前記位置検出マークの形成面に対する光学的フーリエ変換面である照明系瞳面上に離散的に分布する複数個の2次光源を形成する照明光束制限部材と、前記結像光学系中の、前記位置検出マークの形成面に対する光学的フーリエ変換面である結像系瞳面に配置され、且つ前記照明系瞳面で前記離散的に分布する複数個の2次光源と結像関係となる領域及びその近傍の領域を含む複数個の遮光領域において照明光を遮光し、それ以外の領域では照明光を通過せしめる結像光束制限部材と、を有することを特徴とする位置検出装置。

IPC (4件)：

G01B 11/00 ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G01B 11/00 H ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 510