走査型プローブ顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-073560
公開番号（公開出願番号）：特開平6-288757
出願日： 1993年03月31日
公開日（公表日）： 1994年10月18日
要約：

【要約】【目的】微動素子への負荷が少なく、高速走査が行なえるAFMを提供する。【構成】上部保持体15には、レーザー光源2を支持するLD支持体12と、カンチレバー1を支持し走査する微動素子5と、光検出素子3を支持するPD支持体11が取り付けられている。光源2はレーザー光を水平に射出するようにLD支持部12に取り付けられている。光検出素子3はノブ13の回転操作によりZ方向に移動するように設けられている。カンチレバー1の支持部9は磁石8により微動素子5の下端のリング部材7に取り付けられている。微動素子5の下端部には、窓16Aを介して入射したレーザー光をカンチレバー1に向けて反射するプリズム31と、その反射光を窓16Bを介して光検出素子3に向けて反射するプリズム32が設けられている。また本体の下方部には、粗動用のXYステージ14が設けられており、この上に試料6が載置される。

請求項（抜粋）：

自由端に探針を有し、その反対側に反射面を備えているカンチレバーと、カンチレバーを支持し、これを走査する微動素子と、レーザー光を射出する光源と、光源からのレーザー光をカンチレバー上の反射面に照射する照射手段と、カンチレバーの反射面からの反射光を偏向する偏向手段と、偏向手段で偏向されたカンチレバーの反射面からの反射光を受光し、カンチレバーの自由端の変位に対応した信号を出力する光検出素子とを有しており、照射手段と偏向手段は微動素子上に設けられており、光源と光検出素子は微動素子とは独立に設けられている走査型プローブ顕微鏡。

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