特許

J-GLOBAL ID：200903007140221074

薬液供給装置及び薬液の脱気方法

発明者： 富田 康司 ,  神戸 利夫 ,  大井 和美 ,  大津 徳太郎
出願人/特許権者： 大日本インキ化学工業株式会社
代理人 (1件)： 高橋 勝利
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-252260
公開番号（公開出願番号）：特開平9-094447
出願日： 1995年09月29日
公開日（公表日）： 1997年04月08日
要約：

【要約】【解決手段】薬液貯蔵タンク、薬液供給口及び脱気手段を有する薬液供給装置において、薬液貯蔵タンクから薬液供給口に薬液を搬送するライン中に、脱気手段を設けたことを特徴とする薬液供給装置【効果】薬液中の気泡の混入を防止することができる。

請求項（抜粋）：

薬液貯蔵タンク、薬液供給口及び脱気手段を有する薬液供給装置において、薬液貯蔵タンクから薬液供給口に薬液を搬送するライン中に脱気手段を設けたことを特徴とする薬液供給装置。

IPC (4件)：

B01D 69/08 ,  B01D 19/00 ,  B01D 63/02 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

B01D 69/08 ,  B01D 19/00 H ,  B01D 63/02 ,  H01L 21/30 561