特許
J-GLOBAL ID：200903007147464940
炭素繊維強化炭素材のSiC被覆法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高畑 正也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-337707
公開番号（公開出願番号）：特開平5-148020
出願日： 1991年11月26日
公開日（公表日）： 1993年06月15日
要約：
【要約】【目的】 1段階の特定条件によるパルスCVI処理を介して優れた耐酸化性と耐熱衝撃性を備える傾斜機能組織のSiC被覆層を形成することができる炭素繊維強化炭素材のSiC被覆法を提供する。【構成】 炭素繊維強化炭素材の基材を加熱減圧系の反応チャンバー内に保持し、反応ガスを間欠的に反復導入するパルスCVI法を適用して基材面にSiC被覆層を形成する条件として、反応ガスの組成をハロゲン化珪素化合物(SiCl4) と水素とし、パルスCVI工程を通じて導入する反応ガス中のハロゲン化珪素化合物の濃度を連続的に高め、同時に反応ガス導入時における系内圧力を連続的に上昇させることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
炭素繊維強化炭素材からなる基材を加熱減圧系の反応チャンバー内に保持し、水素を含む珪素化合物の反応ガスを間欠的に反復導入するパルスCVI法により基材面にSiC被覆層を形成する方法において、反応ガスの組成をハロゲン化珪素化合物と水素とし、パルスCVI工程を通じて導入する反応ガス中のハロゲン化珪素化合物の濃度を連続的に高め、同時に反応ガス導入時における系内圧力を連続的に上昇させることを特徴とする炭素繊維強化炭素材のSiC被覆法。
IPC (3件)：
C04B 35/52
, C04B 35/80
, C04B 41/87
