特許

J-GLOBAL ID：200903007149021833

電極の製造方法および電極

発明者： 森 匡見
出願人/特許権者： ティーディーケイ株式会社
代理人 (1件)： 石井 陽一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-230410
公開番号（公開出願番号）：特開平11-061398
出願日： 1997年08月12日
公開日（公表日）： 1999年03月05日
要約：

【要約】【課題】 有機層界面での物性を改善して有機層へのダメージも少なく、リーク電流の発生等を抑制し、電荷注入効率が良好で、発光特性を向上させ、ダークスポットの発生を抑制し、性能劣化の少ない陽電極を有する有機EL素子を実現する。【解決手段】 スパッタ法を用い、かつ少なくとも基板の成膜面の温度を10°C以下とする電極の製造方法により、有機EL素子等の電極を得る。

請求項（抜粋）：

スパッタ法を用い、かつ少なくとも基板の成膜面の温度を10°C以下とする電極の製造方法。

IPC (4件)：

C23C 14/34 ,  H01B 5/14 ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/26

FI (4件)：

C23C 14/34 K ,  H01B 5/14 A ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/26