特許

J-GLOBAL ID：200903007150208858

静圧軸受装置

発明者： 野村 武彦
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-000976
公開番号（公開出願番号）：特開平6-200943
出願日： 1993年01月07日
公開日（公表日）： 1994年07月19日
要約：

【要約】【目的】一つの静圧パッドを用いて軸部材を位置決めすつことが可能な静圧軸受装置を提供することにある。【構成】軸部材2を非接触で支持する静圧軸受装置1において、正圧供給ユニット12及び負圧供給ユニット13と、軸部材2に間隔をおいて面するとともに正圧供給ユニット12及び負圧供給ユニット13に接続され、軸部材2との間に正圧及び負圧を発生させる静圧パッド3と、正圧供給ユニット12及び負圧供給ユニット13と静圧パッド3との間に設けられ、正圧及び負圧を操作するサ-ボ弁16、17と、軸部材2の変位を検出する変位検出器21と、この変位検出器21の検出結果と予め決められた目標値とに基づいてサ-ボ弁16、17を制御するサ-ボアンプ20とを具備した。

請求項（抜粋）：

軸部材を非接触で支持する静圧軸受装置において、正圧供給源及び負圧供給源と、軸部材に間隔をおいて面するとともに上記正圧供給源及び上記負圧供給源に接続され、上記軸部材との間に正圧及び負圧を発生させる静圧パッドと、上記正圧供給源及び上記負圧供給源と上記静圧パッドとの間に設けられ、上記正圧及び上記負圧を操作する圧力操作弁と、上記軸部材の変位を検出する変位検出器と、この変位検出器の検出結果と予め決められた目標値とに基づいて上記圧力操作弁を制御する圧力操作弁制御手段とを具備した静圧軸受装置。