特許

J-GLOBAL ID：200903007160516267

応力センサ及びその製造法

発明者： 犬飼 厚臣
出願人/特許権者： ケイテックデバイシーズ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-004794
公開番号（公開出願番号）：特開2004-219169
出願日： 2003年01月10日
公開日（公表日）： 2004年08月05日
要約：

【課題】基板4面に複数の歪ゲージ5と、応力受け部材としてのポスト8が配され、そのポスト8への応力付与が前記基板4を撓ませて前記歪ゲージ5を刺激し、当該刺激による前記歪ゲージ5の特性値変化により、付与された応力の方向を把握し得る応力センサにおいて、基板4外形形状や基板4材質選択の自由度を高めつつ、出力バランスの良好な応力センサを提供する【解決手段】撓み易い基板4領域に配される歪ゲージ5の感度が、撓み難い基板4領域に配される歪ゲージ5の感度よりも低く、且つポスト8へ付与される同じ強さの応力に対する出力が、把握すべき方向について実質的に同一とする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

基板面に複数の歪ゲージと、応力受け部材としてのポストが配され、そのポストへの応力付与が前記基板を撓ませて前記歪ゲージを刺激し、当該刺激による前記歪ゲージの特性値変化により、付与された応力の方向を把握し得る応力センサにおいて、 撓み易い基板領域に配される歪ゲージの感度が、撓み難い基板領域に配される歪ゲージの感度よりも低く、 且つポストへ付与される同じ強さの応力に対する出力が、把握すべき方向について実質的に同一であることを特徴とする応力センサ。

IPC (2件)：

G01L5/16 ,  G06F3/033

FI (2件)：

G01L5/16 ,  G06F3/033 330A

Fターム (7件)：

2F051AA21 ,  2F051AB09 ,  2F051BA07 ,  2F051DA02 ,  5B087BC02 ,  5B087BC12 ,  5B087BC19