露光光源用レ-ザ発振装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-200307
公開番号（公開出願番号）：特開平5-048189
出願日： 1991年08月09日
公開日（公表日）： 1993年02月26日
要約：

【要約】【目的】この発明は、出力パワ-の損失を招くことなく円弧帯状のパタ-ンを得ることができる露光光源用レ-ザ発振装置を提供することを目的とする。【構成】気密容器12内に設けられ電気エネルギが供給されることによって発生する主放電でガスレ-ザ媒質を励起してレ-ザ光を発生させる一対の主電極14と、気密容器12の一端側に配設されレ-ザ光が入射する面に円弧帯状の高反射部が形成された高反射ミラ-19と、気密容器12の他端側に配設され高反射ミラ-19とで光共振器22を形成する出力ミラ-21と、出力ミラ-21から出力されたレ-ザ光の円弧帯状のパタ-ンを拡大するテレスコ-プ25と、テレスコ-プ25でパタ-ンが拡大されたレ-ザ光を気密容器12内のレ-ザ光が発生した空間部と異なる空間部に戻して増幅させるプリズム26とを具備したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

ガスレ-ザ媒質が封入された気密容器と、この気密容器内に設けられ電気エネルギが供給されることによって発生する主放電で上記ガスレ-ザ媒質を励起してレ-ザ光を発生させる一対の主電極と、上記気密容器の一端側に配設されレ-ザ光が入射する面に円弧帯状の高反射部が形成された高反射ミラ-と、上記気密容器の他端側に配設され上記高反射ミラ-とで光共振器を形成する出力ミラ-と、この出力ミラ-から出力されたレ-ザ光の円弧帯状のパタ-ンを拡大する拡大光学系と、この拡大光学系でパタ-ンが拡大されたレ-ザ光を上記気密容器内の空間部のレ-ザ光が発生した部分と異なる部分に戻して増幅させる折り返し光学系とを具備したことを特徴とする露光光源用レ-ザ発振装置。

IPC (6件)：

H01S 3/104 , G03F 7/20 505 , G03F 7/20 521 , H01L 21/027 , H01S 3/00 , H01S 3/08

FI (2件)：

H01L 21/30 311 L , H01S 3/08 Z

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