電子線式回路パターンの検査方法および装置

発明者： , , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-022928
公開番号（公開出願番号）：特開2002-228606
出願日： 2001年01月31日
公開日（公表日）： 2002年08月14日
要約：

【要約】【課題】回路パターンなどが形成された被検査対象物から荷電粒子線等によって検出される検査画像信号と参照画像信号とを比較して判定しきい値により欠陥を判定して検査する際、厳密な判定しきい値を設定することを不要にしたパターン検査装置およびその方法を提供することにある。【解決手段】検査中に必要に応じて検査感度を下げることを行なう。また、検査中に、検出した各欠陥の判定しきい値に対する余裕度を求め記憶しておくておく。判定しきい値を低く設定してもオーバーフローすることがないため、高感度な検査が実現できる。また、再検査をしなくても、判定しきい値を変更した場合の検査結果が容易に得られるため、検査終了後に、検査結果全体から適正な判定しきい値を決めることが可能となる。このことは、また、最初の判定しきい値設定に厳密さが要求されなくなることでもある。

請求項（抜粋）：

被検査対象基板に光または荷電粒子のビームを照射することによって被検査対象基板から発生する光、二次電子、反射電子、透過電子、吸収電子のいずれかを検出して画像信号に変換し、該変換された画像信号をA/D変換して得られた第1のディジタル画像信号と第2のディジタル画像信号とを比較してその相違で示される相違ディジタル画像信号を求め、この求められた相違ディジタル画像信号を判定しきい値で判定することにより前記被検査対象基板上での個々の欠陥部を検出して個々の欠陥部の情報を得る検査工程と、該検査工程における検査を続行しながら、被検査対象基板上での欠陥の検出状態における途中経過に基づき、前記検査工程で用いられた判定しきい値が適正であるか否かの解析を行う判定しきい値解析工程と、該判定しきい値解析工程で解析された適正な判定しきい値を、前記検査工程における判定しきい値にフィードバックするフィードバック工程とを有することを特徴とするパターン検査方法。

IPC (7件)：

G01N 23/225 , G01N 21/956 , G01N 23/04 , G01N 23/20 , G01R 31/302 , G06T 1/00 305 , H01L 21/66

FI (7件)：

G01N 23/225 , G01N 21/956 A , G01N 23/04 , G01N 23/20 , G06T 1/00 305 A , H01L 21/66 J , G01R 31/28 L

Fターム (57件)：

2G001AA03 , 2G001AA07 , 2G001BA07 , 2G001BA11 , 2G001BA14 , 2G001CA03 , 2G001CA07 , 2G001FA01 , 2G001FA06 , 2G001GA01 , 2G001GA06 , 2G001HA01 , 2G001HA07 , 2G001HA13 , 2G001JA03 , 2G001KA03 , 2G001LA11 , 2G001MA05 , 2G051AA51 , 2G051AA65 , 2G051AA71 , 2G051AB01 , 2G051AB07 , 2G051AC21 , 2G051DA07 , 2G051EA11 , 2G051EA12 , 2G051EA14 , 2G051EB01 , 2G051EB02 , 2G051EC01 , 2G051FA01 , 2G132AA20 , 2G132AC03 , 2G132AD15 , 2G132AF12 , 2G132AL12 , 4M106AA01 , 4M106CA39 , 4M106DB05 , 4M106DJ11 , 4M106DJ14 , 4M106DJ18 , 4M106DJ20 , 4M106DJ21 , 4M106DJ38 , 5B057AA03 , 5B057BA01 , 5B057BA02 , 5B057BA30 , 5B057DA03 , 5B057DA07 , 5B057DB02 , 5B057DB09 , 5B057DC03 , 5B057DC04 , 5B057DC34

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