振動ジャイロ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川順三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-001324
公開番号（公開出願番号）：特開平8-189833
出願日： 1995年01月09日
公開日（公表日）： 1996年07月23日
要約：

【要約】【目的】小型にして高感度の振動ジャイロを提供する。【構成】三次元座標系のZ軸と直交する面内で一体的に形成した第1および第2の厚みすべり振動子11a, 11bからなり、Z軸の周りの角速度を検出する振動ジャイロである。各厚みすべり振動子11a, 11bを、圧電素子12と、この圧電素子12の、Z軸と直交するそれぞれの面に設けた電極13a, 13b, 13c とで構成するとともに、それぞれの圧電素子を異なった方向に分極させる。

請求項（抜粋）：

三次元座標系のZ軸と直交する面内で一体的に形成した第1および第2の厚みすべり振動子からなり、Z軸の周りの角速度を検出する振動ジャイロであって、各厚みすべり振動子を、圧電素子と、この圧電素子の、Z軸と直交するそれぞれの面に設けた電極とで構成するとともに、それぞれの圧電素子を、相互に異なった方向に分極させてなる振動ジャイロ。

IPC (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

引用特許：

審査官引用 (1件)

圧電振動ジャイロ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-064911 出願人：株式会社トーキン

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