密着性に優れた硬質膜を備えている金属製品、同金属製品の製造方法及び同硬質膜を施した切削工具及び金型

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小越勇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-300746
公開番号（公開出願番号）：特開2005-068499
出願日： 2003年08月26日
公開日（公表日）： 2005年03月17日
要約：

【要約書】【課題】金属母材との密着性を向上させた硬質膜を形成する。【解決手段】金属母材と窒化層間に窒素との化合物層が存在せず、該窒化層はAr、He、Ne等の不活性ガス雰囲気下でイオンボンバードメント処理され、周期律表IVa、Va、VIa族から選ばれた少なくとも1種以上の元素の炭化物、窒化物又は炭窒化物の単層膜、複合膜、傾斜膜、AlXTi1-X-Y-ZMYRZ(但し、MはW若しくはMoから選択した元素の1種以上、又はW若しくはMoから選択した元素の1種以上及びSi若しくはCrから選択した元素の1種以上の元素、RはY、Ce、La、ミッシュメタル等の希土類元素から選ばれた元素から選択した1種以上の元素、0.05≦X≦0.7、0.02≦Y≦0.25、0.0005≦Z≦0.05)の窒化物の単層膜、複合膜、傾斜膜又はダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜を備える。

請求項（抜粋）：

硬質膜を有する金属製品であって、金属製品母材に窒素が拡散浸透した窒化層を備え、該金属母材と窒化層間に窒素との化合物層が存在せず、拡散浸透した該窒化層はAr、He、Ne等の不活性ガス雰囲気下でイオンボンバードメント処理された面を備え、さらに該イオンボンバードメント処理された面に形成された、周期律表IVa、Va、VIa族から選ばれた少なくとも1種以上の元素の炭化物、窒化物又は炭窒化物の単層膜、複合膜、傾斜膜、AlXTi1-X-Y-ZMYRZ(但し、MはW若しくはMoから選択した元素の1種以上、又はW若しくはMoから選択した元素の1種以上及びSi若しくはCrから選択した元素の1種以上の元素、RはY、Ce、La、ミッシュメタル等の希土類元素から選ばれた元素から選択した1種以上の元素、0.05≦X≦0.7、0.02≦Y≦0.25、0.0005≦Z≦0.05)の窒化物の単層膜、複合膜、傾斜膜又はダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜からなることを特徴とする密着性に優れた硬質膜を備えている金属製品。

IPC (6件)：

C23C28/04 , B21J13/02 , B23B51/00 , B23C5/16 , C23C8/36 , C23C14/06

FI (7件)：

C23C28/04 , B21J13/02 L , B23B51/00 J , B23C5/16 , C23C8/36 , C23C14/06 A , C23C14/06 H

Fターム (30件)：

3C037CC04 , 3C046FF02 , 3C046FF10 , 3C046FF11 , 3C046FF12 , 4E050JA01 , 4E050JB08 , 4E050JB09 , 4E050JD03 , 4E050JD05 , 4E050JD06 , 4E087ED03 , 4K028BA02 , 4K028BA12 , 4K028BA22 , 4K029AA02 , 4K029BA54 , 4K029BA58 , 4K029BC02 , 4K029BD05 , 4K029CA03 , 4K029CA05 , 4K029FA04 , 4K044AA02 , 4K044AB10 , 4K044BA18 , 4K044BB03 , 4K044BC05 , 4K044CA12 , 4K044CA13

引用特許：

出願人引用 (3件)

特許第1994196号
特許第2773092号
特公平6-2937号

審査官引用 (5件)

特開平2-125861
特開平2-125861
歯切り工具及びその表面改質方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-250632 出願人：日本電子工業株式会社

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