板状体の加工方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松浦憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-263645
公開番号（公開出願番号）：特開2000-084807
出願日： 1998年09月17日
公開日（公表日）： 2000年03月28日
要約：

【要約】【課題】ガラス板16を高平坦に加工する。【解決手段】ガラス板16の表面を研削または研磨し、その表面に残留した加工残留応力をエッチング処理で除去した後、ガラス板16の裏面を研削または研磨し、その裏面に残留した加工残留応力をエッチング処理で除去する。

請求項（抜粋）：

板状体の裏面を定盤に変形させずに保持させて該板状体の表面を研削または研磨手段によって平坦加工し、前記板状体を前記定盤から取り外した後、該板状体の表面に残留した加工残留応力を残留応力除去手段によって除去することにより、板状体の表面を平坦加工し、前記板状体の表面を前記定盤に変形させずに保持させて該板状体の裏面を研削または研磨手段によって平坦加工し、前記板状体を前記定盤から取り外した後、該板状体の裏面に残留した加工残留応力を残留応力除去手段によって除去することにより、板状体の裏面を平坦加工することを特徴とする板状体の加工方法。

Fターム (5件)：

3C043BB05 , 3C043CC04 , 3C043DD05 , 3C043DD06 , 3C043EE04

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