特許

J-GLOBAL ID：200903007194533470

走査電子顕微鏡

発明者： 名村 高
出願人/特許権者： 松下電子工業株式会社
代理人 (1件)： 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-142876
公開番号（公開出願番号）：特開2000-331635
出願日： 1999年05月24日
公開日（公表日）： 2000年11月30日
要約：

【要約】【課題】 従来の走査電子顕微鏡では電子線が試料表面に空間的に連続して照射されるので、観察面が帯電した場合に、電子軌道が曲げられて像が歪みやすいという欠点を有している。【解決手段】 本発明の走査電子顕微鏡は、従来の走査電子顕微鏡に対し、電子線110の走査を、走査速度や輝度を変調することにより断続する機能を付加した構成を備え、走査パタ-ンを市松状、又は亀甲状などにすることにより、試料111表面の帯電による像の歪みの極めて少ない走査電子顕微鏡が実現できる。

請求項（抜粋）：

試料に電子線を走査しながら照射し、二次電子を検出して試料の形状を観察する走査電子顕微鏡において、電子線の走査長が所定の値を超えたとき、前記走査の速度変調を自動的に機能させる機構を備えたことを特徴とする走査電子顕微鏡。

IPC (3件)：

H01J 37/147 ,  H01J 37/28 ,  H01L 21/66

FI (3件)：

H01J 37/147 B ,  H01J 37/28 B ,  H01L 21/66 J

Fターム (8件)：

4M106AA01 ,  4M106BA02 ,  4M106CA39 ,  4M106DB05 ,  4M106DB30 ,  5C033FF02 ,  5C033FF03 ,  5C033UU01