磁気記録媒体及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-053294
公開番号（公開出願番号）：特開平5-258304
出願日： 1992年03月12日
公開日（公表日）： 1993年10月08日
要約：

【要約】【構成】スパッタリング法で磁気記録媒体を作製する際、スパッタ室内を1/107Pa 以下に排気してからスパッタガスを導入して、膜形成を行なう磁気記録媒体の製造方法。磁気記録媒体は、Ti基合金を下地膜,Co-Cr系合金を磁性膜とした垂直磁気記録媒体やCrを下地膜,Co-Cr系合金を磁性膜とした面内磁気記録媒体とする。【効果】磁性層としてCoとCrを主成分とする垂直磁気記録媒体および面内磁気記録媒体の記録密度特性や再生出力,媒体S/N等の記録再生特性を大幅に向上することができる。

請求項（抜粋）：