特許
J-GLOBAL ID：200903007197976993
研磨装置における放熱構造
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中林 幹雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-181737
公開番号（公開出願番号）：特開2001-009703
出願日： 1999年06月28日
公開日（公表日）： 2001年01月16日
要約：
【要約】【課題】 研磨装置において、下定盤の表裏面の温度を均一化するようにした研磨装置における放熱構造を提供する。【解決手段】 本体内部の下部に設けられた駆動系で回転する上下定盤間で、挟持したホルダーをサンギアおよびインターナルギアによって回転可能に構成し、ホルダー内に収納した被研磨物を研磨するようにした研磨装置において、前記本体に外気取り入れ用の孔を設け、インターナルギア取付け部材の下面に、複数の放熱フィンを設けた。
請求項（抜粋）：
本体内部の下部に設けられた駆動系で回転する上下定盤間で、ホルダーが挟持されるとともに、このホルダー自体が前記駆動系で駆動されるサンギアおよびインターナルギアによって回転可能に構成され、ホルダー内に収納した被研磨物を研磨するようにした研磨装置において、前記下定盤の外周側に位置するインターナルギアが上面に取付けられた状態で上下動するインターナル取付け部材に、複数の放熱フィンを設け、インターナル取付け部材の回転時に駆動系から発生した熱が撹拌されて均一化されることを特徴とする研磨装置における放熱構造。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B24B 37/00 J
, B24B 55/00
3C047FF08
, 3C047FF15
, 3C058AA07
, 3C058AA09
, 3C058AA16
, 3C058AB04
, 3C058AB06
, 3C058AC01
, 3C058BA08
, 3C058BC02
, 3C058CB06
, 3C058DA09
