特許
J-GLOBAL ID：200903007201603560
マイクロ波イオン源
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-272290
公開番号（公開出願番号）：特開平9-115455
出願日： 1995年10月20日
公開日（公表日）： 1997年05月02日
要約：
【要約】【課題】マイクロ波イオン源を使い、200mA以上の大電流イオンビームを長時間安定に得る。【解決手段】プラズマ室2へのマイクロ波導入窓3のうち、プラズマに接する側の導入窓を半径方向に分割し、中心部に窒化ボロンの絶縁物3B,周辺部を石英の絶縁物3Cで構成する。この様に構成されたマイクロ波導入窓3の全部の厚みをマイクロ波の管内波長の1/4以下の長さとする。
請求項（抜粋）：
磁場中のマイクロ波放電によってプラズマを発生させイオン引出し電極を使ってイオンビームを引出し、マイクロ波発振器からのマイクロ波をプラズマ発生室に導入するマイクロ波導入窓が複数の絶縁物を重ねてマイクロ波導入窓となっているマイクロ波イオン源において、前記プラズマに接触する導入窓を半径方向に誘電率の異なる複数種類の絶縁物で構成したことを特徴とするマイクロ波イオン源。
IPC (4件)：
H01J 27/16
, C23C 14/48
, H01J 37/08
, H01L 21/265
H01J 27/16
, C23C 14/48 Z
, H01J 37/08
, H01L 21/265 F
