特許
J-GLOBAL ID:200903007212618500
レーザースキャニングミラーアクチュエータ
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
小川 信一 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-293477
公開番号(公開出願番号):特開平7-146447
出願日: 1993年11月24日
公開日(公表日): 1995年06月06日
要約:
【要約】【目的】 2次元平面上の任意の位置にレーザースポットの走査が可能な2軸同時駆動型レーザースキャニングミラーアクチュエータを提供する。【構成】 ミラーの機能を有する永久磁石10と、永久磁石10を支持する薄板製のX,Y2軸型のジンバル20と、ジンバル20のX軸及びY軸上にそれぞれ配設したコイル磁石31,32,41,42とから成る。
請求項(抜粋):
ミラーの機能を有する永久磁石と、該永久磁石を支持する薄板製のX,Y2軸型のジンバルと、該ジンバルのX軸及びY軸上にそれぞれ配設したコイル磁石とから成るレーザースキャニングミラーアクチュエータ。
IPC (3件):
G02B 26/10
, G02B 26/10 101
, H01S 3/101
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