特許
J-GLOBAL ID:200903007214588625
ペリクルの収納ケース
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
中川 周吉 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-182459
公開番号(公開出願番号):特開平11-024239
出願日: 1997年07月08日
公開日(公表日): 1999年01月29日
要約:
【要約】【課題】フタとトレイとからなるペリクルのケースを、外部からの異物を遮断するために、気密に近い構造にすると、フタを開ける際、内部が減圧状態になってフタが開けにくくなり、自動貼付機の自動運転に重大な支障をきたすという不都合があった。【解決手段】ペリクルを収納するケースのトレイ5の所定位置にケース内外に通じる通気孔8を設け、かつケースのコーナー部を固定し得るクリップ7の内面所定位置に前記通気孔8を閉塞し得る閉塞体9を突設し、ケースをクリップ7で固定した際に、前記閉塞体9が前記トレイ5に設けた通気孔8を閉塞するように構成したペリクルの収納ケースである。
請求項(抜粋):
ペリクルを収納するための、トレイとフタとからなるケースに於いて、前記トレイあるいは前記フタのいずれかまたはその両方に、前記ケースの内外に通じる通気孔を設け、該通気孔を閉塞および解放することのできる閉塞手段を設けたことを特徴とするペリクルの収納ケース。
FI (2件):
G03F 1/14 J
, G03F 1/14 M
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