特許
J-GLOBAL ID：200903007229713256
荷電粒子ビーム露光装置用パターン展開方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松本 眞吉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-044651
公開番号（公開出願番号）：特開平8-241843
出願日： 1995年03月03日
公開日（公表日）： 1996年09月17日
要約：
【要約】【目的】高速かつ効率よく、図形データをビットマップに展開する。【構成】直角2等辺3角形のビットマップデータをメモリ21に登録しておき、メモリ21に対し読み出しアドレスAを指定する。ここに、A=A0+[RA・i]、A0及びiは整数、[]はその中の数値を整数化する演算子である。RAの値を設定し、iを0から1ずつ変化させることにより、直角2等辺3角形をデータ読み出し方向に略1/RA倍した直角3角形のビットマップデータを、メモリ21から読み出させる。iの各々につきメモリ21のアドレスAから読み出されたデータをマスクして相似な直角3角形のビットマップデータを得る。iの各々につき、マスクされたデータをシフト部26でSビットシフトさせて、Y方向へずれ変形させた一般的な3角形のビットマップデータをシフトレジスタから得る。ここに、S=S0+[RS・i]である。
請求項（抜粋）：
露光パターンに対応した図形データをビットマップに展開する方法において、第1図形のビットマップデータをメモリに登録しておき、該メモリに対し読み出しアドレスAを指定し、ここに、Aは実質的にA=A0+[RA・i]と表され、A0及びiは整数であり、[]はその中の数値を整数化する演算子であり、RAの値を設定し、iを正又は負の方向に1つずつ変化させることにより、該第1図形をデータ読み出し方向である第1方向に略1/RA倍した第2図形のビットマップデータを、該メモリから読み出させる、ことを特徴とする、パターン展開方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L 21/30 541 M
, G06F 15/72 350
, H01L 21/30 541 E
