特許
J-GLOBAL ID：200903007230045593
熱電材料およびその製造方法
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-263437
公開番号（公開出願番号）：特開平5-102535
出願日： 1991年10月11日
公開日（公表日）： 1993年04月23日
要約：
【要約】【目的】 熱を電気に変換する熱電材料およびその製造方法に関するもので、特に高性能の金属-珪素系合金熱電材料およびその製造方法を提供することを目的とする。【構成】 真空装置内で、微小突起物8を形成した有機フィルム基板7表面に、金属または金属-珪素系合金の柱状金属超微粒子10を作製し、さらにSi系薄膜11を製膜した後、前記有機フィルム基板7を除去し、再度Si系薄膜を製膜する工程による製造方法で、Si系薄膜中に柱状金属超微粒子が長軸方向を揃えて互いに接触せずに独立に存在している構造を作製する。【効果】 ゼーベック係数と電気伝導率が向上し、かつ熱伝導率が低減するという熱電特性の良好な金属-珪素系合金熱電材料を得ることが出来る。
請求項（抜粋）：
酸素または水素を含んだSi系薄膜中に柱状金属超微粒子が長軸方向を揃えて互いに接触しないように独立に存在している構造をもつ熱電材料
IPC (2件)：
前のページに戻る
