特許
J-GLOBAL ID：200903007230377103
エレクトレットコンデンサマイクロフォン
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高宗 寛暁
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-269594
公開番号（公開出願番号）：特開2003-078997
出願日： 2001年09月05日
公開日（公表日）： 2003年03月14日
要約：
【要約】【課題】 従来のエレクトレットコンデンサマイクロフォンでは背極電極と振動膜との間隔を精度良く管理することと、浮遊容量の発生を防止して検出感度を高めることを両立させることが困難であった。【解決手段】 背極電極上にエレクトレット層を形成した背極基板と、支持枠に振動膜を固着した振動膜ユニットとをスペーサを介して積層して成るエレクトレットコンデンサマイクロフォンにおいて、前記背極基板の構成を絶縁基板上に背極電極とエレクトレット層とを形成すると共に、前記背極電極の面積を前記振動膜ユニットにおける振動膜の動作可能面積と略等しい大きさにし、かつ前記絶縁基板に前記振動膜ユニットを直接位置決めすることで、背極電極と振動膜との間隔の管理と、浮遊容量の発生防止とを両立させた。
請求項（抜粋）：
背極電極上にエレクトレット層を形成した背極基板と、支持枠に振動膜を固着した振動膜ユニットとをスペーサを介して積層して成るエレクトレットコンデンサマイクロフォンにおいて、前記背極基板は絶縁基板上に背極電極とエレクトレット層とを形成した構成であり、かつ前記背極電極の面積が前記振動膜ユニットにおける振動膜の動作可能面積と略等しい大きさであることを特徴とするエレクトレットコンデンサマイクロフォン。
Fターム (2件)：
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