α-フルオロアルキル-1-アダマンチルアクリレート類及びその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-330662
公開番号（公開出願番号）：特開2003-137841
出願日： 2001年10月29日
公開日（公表日）： 2003年05月14日
要約：

【要約】【課題】機能性高分子、医農薬等の原料として有用と期待されるα-フルオロアルキル-1-アダマンチルアクリレート類とその製造方法を提供する。【解決手段】下記式(II)【化1】(式中、Rfはフルオロアルキル基を表し、Xは水酸基又はハロゲンを表す)で示されるα-フルオロアルキルアクリル酸誘導体を、下記式(III)【化2】[式中、R1,R2,R3,R4,R5は各々独立して、水素原子、アルキル基、フルオロアルキル基、水酸基、アルコキシ基、アミノ基、カルボキシル基、エステル基、カルボニル基又はハロゲンを表し、Yは水素、アルカリ金属又は一般式-MX(式中、Mはアルカリ土類金属、Xはハロゲンを表す)で示されるハロアルカリ土類金属を表す]で示される1-アダマンタノール類と反応させ、α-フルオロアルキル-1-アダマンチルアクリレート類を製造する。

請求項（抜粋）：

下記式(I)【化1】(式中、Rfはフルオロアルキル基を表し、R1,R2,R3,R4,R5は各々独立して、水素原子、アルキル基、フルオロアルキル基、水酸基、アルコキシ基、アミノ基、カルボキシル基、エステル基、カルボニル基又はハロゲンを表す)で示されるα-フルオロアルキル-1-アダマンチルアクリレート類。

IPC (9件)：

C07C 69/653 , C07C 67/08 , C07C 67/14 , C07C 69/013 , C08F 20/24 , C08F 20/28 , G03F 7/027 502 , G03F 7/039 601 , H01L 21/027

FI (9件)：

C07C 69/653 , C07C 67/08 , C07C 67/14 , C07C 69/013 C , C08F 20/24 , C08F 20/28 , G03F 7/027 502 , G03F 7/039 601 , H01L 21/30 502 R

Fターム (34件)：

2H025AA09 , 2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE10 , 2H025BG00 , 2H025BJ10 , 2H025CB14 , 2H025CB41 , 2H025CB45 , 4H006AA01 , 4H006AA02 , 4H006AC48 , 4H006BJ30 , 4H006BS10 , 4H006KA06 , 4H006KA14 , 4H006KC14 , 4H006KE20 , 4H006KF00 , 4J100AL26P , 4J100BA03P , 4J100BA05P , 4J100BA06P , 4J100BA16P , 4J100BB01P , 4J100BB03P , 4J100BC09P , 4J100CA01 , 4J100DA28 , 4J100DA62 , 4J100JA38

引用特許：

審査官引用 (1件)

レジスト材料及びレジストパターンの形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-197475 出願人：富士通株式会社

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