特許
J-GLOBAL ID:200903007238183685

静電吸引型流体吐出方法およびその装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 原 謙三 ,  木島 隆一 ,  金子 一郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-206962
公開番号(公開出願番号):特開2005-058810
出願日: 2003年08月08日
公開日(公表日): 2005年03月10日
要約:
【課題】ノズル孔径の微細化と駆動電圧の低電圧化を両立し、かつ吐出先部材での液滴飛散を抑制して鮮明な微細パターンを形成できるようにする。【解決手段】静電吸引型流体吐出装置は、ノズル11と絶縁性基板16との間に電源14から駆動電圧を印加して、ノズル11内に供給された吐出材料15に電荷を供給し、この吐出材料15をノズル孔から絶縁性基板16に吐出させる。ノズル11の孔径はφ0.01μm〜φ25μmであり、電源14は、駆動電圧として、正負両極性に反転する両極性パルス電圧であり、周波数が1Hz以上の電圧を出力する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
ノズルと吐出先部材との間に駆動電圧印加手段から駆動電圧を印加して、ノズル内に供給された流体に電荷を供給し、この流体をノズル孔から前記吐出先部材に吐出させる静電吸引型流体吐出装置において、 前記ノズルの孔径はφ0.01μm〜φ25μmであり、 前記駆動電圧印加手段は、前記駆動電圧として、正負両極性に反転する両極性パルス電圧であり、周波数が1Hz以上の電圧を出力することを特徴とする静電吸引型流体吐出装置。
IPC (4件):
B05C5/00 ,  B05D1/04 ,  B41J2/01 ,  B41J2/06
FI (4件):
B05C5/00 101 ,  B05D1/04 A ,  B41J3/04 103G ,  B41J3/04 101Z
Fターム (38件):
2C056EA04 ,  2C056EC38 ,  2C056FA07 ,  2C057AF29 ,  2C057AF55 ,  2C057AH07 ,  2C057AJ05 ,  2C057AR06 ,  2C057BD05 ,  4D075AA04 ,  4D075AA09 ,  4D075AA81 ,  4D075AA85 ,  4D075AA87 ,  4D075CA22 ,  4D075CA47 ,  4D075DA06 ,  4D075DB04 ,  4D075DB13 ,  4D075DB43 ,  4D075DB48 ,  4D075DB53 ,  4D075DC19 ,  4D075DC21 ,  4D075DC27 ,  4D075EA07 ,  4D075EA14 ,  4D075EC10 ,  4D075EC17 ,  4F041AA02 ,  4F041AB01 ,  4F041BA10 ,  4F041BA12 ,  4F041BA13 ,  4F041BA22 ,  4F041BA34 ,  4F041BA38 ,  4F041BA56
引用特許:
審査官引用 (5件)
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