特許
J-GLOBAL ID：200903007238738563
光学式変位センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-254991
公開番号（公開出願番号）：特開平7-083612
出願日： 1993年09月17日
公開日（公表日）： 1995年03月28日
要約：
【要約】【目的】 光学的手段によって相対変位物体の変位に応じた光量変化を生じさせる変位センサにおいて、スケールの回折効率が変動した場合にも常に振幅やオフセット電圧の安定した信号を得ること。【構成】 発光素子1からの光を位相変調された複数の光束に分割する回折格子3B、3C、21と、前記複数の光束をそれぞれ受光する複数の受光素子4B、4Cと、この複数の受光素子4B、4Cの出力を加算して直流成分のみを出力する加算器8と、この加算器8の出力に基づいて前記発光素子1の光量に一定に制御する光量制御回路7とを具備したこと。
請求項（抜粋）：
光学的手段によって相対変位物体の変位に応じた光量変化を生じさせる変位センサにおいて、発光素子からの光を位相変調された複数の光束に分割し合成する干渉光束作成手段と、前記干渉光束を受光する複数の受光素子と、この複数の受光素子の出力を加算して直流成分だけを出力する加算回路と、この加算回路の出力に基づいて前記発光素子の光量を制御する光量制御回路とを具備したことを特徴とする光学式変位センサ。
IPC (2件)：
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