特許
J-GLOBAL ID：200903007245968515
紫外線測定用光学系及びその安定性改善方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
清水 敬一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-321567
公開番号（公開出願番号）：特開平5-249033
出願日： 1992年12月01日
公開日（公表日）： 1993年09月28日
要約：
【要約】【目的】 簡単な方法で光学系内の酸素及びオゾンを完全に除去できる紫外線測定用光学系の安定性を改善する。【構成】 紫外線エネルギを使用する測定装置において、測定装置の光学系に不活性ガスを連続的に流出することにより、誤差の原因となる紫外線酸化作用によるオゾンの発生及び予測不能な測定誤差の原因となるエネルギ流量の変動を十分に減少させる。
請求項（抜粋）：
酸化剤を含む非密封状態のハウジング内に光路を有する測定用光学系において、前記ハウジングをガス供給源に連結する過程と、前記ガス供給源から浄化ガスを連続的に流出させて前記光路の全ての光干渉性ガスを浄化する過程とを含むことを特徴とする測定用光学系の安定性改善方法。
IPC (3件)：
G01N 21/33
, G01J 1/02
, G01J 3/02
