特許

J-GLOBAL ID：200903007248119870

化学発光式窒素酸化物測定装置

発明者： 小森 詳弘 ,  小櫻 優
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 野口 繁雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-114234
公開番号（公開出願番号）：特開平7-301603
出願日： 1994年04月30日
公開日（公表日）： 1995年11月14日
要約：

【要約】【目的】 希釈ガスの流量調節と、化学発光の検出感度を最適化するオゾン濃度調節をともに容易にできるようにする。【構成】 反応槽2へオゾンの供給と希釈用空気の供給を兼ねるオゾン流路30にはポンプ32、流量調節器34、流量計36、オゾン発生器26及び平滑素子38が配置されている。オゾン流路30の流量はCO2などの消光性ガスを希釈するのに適当な流量に調節され、オゾン濃度は試料ガスの窒素酸化物濃度に応じて化学発光の検出感度が最大になるように最適化される。オゾン発生器26を駆動する高圧電源はパルス幅変調型の濃度設定器42により制御される。

請求項（抜粋）：

試料ガス中の窒素酸化物とオゾンとを気相反応させ、その化学発光強度を検出する反応槽と、前記反応槽へ窒素酸化物を含む試料ガスを所定の流量で送り込む試料ガス流路と、供給された空気中の酸素をオゾンに変える無声放電式オゾン発生器及びその下流の平滑素子を有し、前記反応槽へオゾンを含む空気を前記気相反応での化学発光に対して消光性のあるガスの濃度に応じて設定された流量で供給するオゾン流路と、前記オゾン発生器の高圧トランスの一次側を励振周波数より低周波数の数〜数十サイクルで間欠的にオン・オフ動作させるとともに、試料ガス中の窒素酸化物濃度に対応した最適オゾン濃度になるように前記オン・オフ動作のデューティ比を設定するスイッチ回路を有する高圧電源装置と、を備えたことを特徴とする化学発光式窒素酸化物測定装置。